|
|
РА294814сл
Дзян, Александр Сергеевич.
Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук: 05.27.01 / Дзян Александр Сергеевич ; АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова. - К., 1990. - 16 с.
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу:
Академия наук Украинской ССР (Киев); Институт кибернетики имени В. М. Глушкова (Киев)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|