|
|
ДС52099
Бойко, Тарас Георгійович.
Низькотемпературна дифузія фосфору в кремній з твердих планарних джерел [Текст] : дис... канд. техн. наук: 05.27.03 / Бойко Тарас Георгійович ; Державний ун-т "Львівська політехніка". - Львів, 1996. - 149 с.
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу:
Державний університет "Львівська політехніка"
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|