Ж41350:F/2001/41 | Physikalisch-Technische Bundesanstalt. Bericht [Physikalisch- Technische Bundesanstalt (PTB-Bericht F)], Ser.F, Fertigungsmeßtechnik [Text] / Physikalisch-Technische Bundesanstalt. - Braunschweig. - ISSN 0179-0609. 2001, №41 : Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen : Dissertation / T. Kleine-Besten. - Braunschweig : [б.в.], 2001. - 111 S.: Ill. (Bericht [Physikalisch- Technische Bundesanstalt (PTB-Bericht F)], Ser.F Fertigungsmeßtechnik, ISSN 0179-0609 ; 2001, №41). - Bibliogr.: S.99-105.
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| 2001 | | № 41
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