| Ж39507/2000/6576 |
Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz- Gemeinschaft.
Wissenschaftliche Berichte [Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz- Gemeinschaft [Text] / Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz- Gemeinschaft. - Karlsruhe. - Скорочена назва : FZKA. - ISSN 0947-8620.
2000, №6576 : Optimierung der Prozeßbedingungen zur Hestellung voin Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL) / S. Achenbach [u.a]. - Karlsruhe : [б.в.], 2000. - 138 S.: Abb. (Wissenschaftliche Berichte [Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz- Gemeinschaft, ISSN 0947-8620 ; 2000, №6576). - Bibliogr.: S.113-122.
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Дод. точки доступу:
Pantenburg, F. J.; Mohr, J.; Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz- Gemeinschaft
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2000 | | № 6576
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