|
|
ДС86310
Вербицька, Тетяна Іванівна.
Закономірності фазоутворення та термічна стабільність силіциду нікелю NiSi в тонкоплівкових системах Co-Ni, Ni-Ti, Ni-Si на монокристалах кремнію [Текст] : дис... канд. техн. наук: 05.16.01 / Вербицька Тетяна Іванівна ; Національний технічний ун-т України "Київський політехнічний ін-т". - К., 2004. - 180 арк.: рис. - арк. 166-178.
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу:
Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут" (Київ)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|