|
|
ДС75721
Оксанич, Анатолий Петрович.
Методы и аппаратура контроля структурно-геометрического совершенства полупроводниковых материалов и структур в условиях их серийного производства [Текст] : дис... д-ра техн. наук: 05.27.06 / Оксанич Анатолий Петрович ; Институт экономики и новых технологий. - Кременчуг, 2002. - 298 л. - Библиогр.: л. 266-279.
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу:
Институт экономики и новых технологий (Кременчуг)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|