Разработка моделей и методов газофазного осаждения в узлах сложной формы для технологических САПР РЭС : дис...канд. техн. наук: 05.13.05 / Матвийкив Олег Михайлович ; Санкт- Петербургский электротехнический ун-т. - СПб., 1995.. - 238 с. ------------ Дод. точки доступу: Санкт- Петербургский электротехнический университет