Реєстрація
Користувач
Пароль
Оберіть мову
Ukrainian
Arabic
Armenian
Azerbaijani
Belarusian
Bulgarian
Chinese (Simplified)
Chinese (Traditional)
Czech
Danish
Dutch
English
Estonian
Finnish
French
Georgian
German
Greek
Hebrew
Hindi
Hungarian
Icelandic
Irish
Italian
Japanese
Korean
Latvian
Lithuanian
Norwegian
Persian
Polish
Portuguese
Romanian
Russian
Serbian
Slovak
Slovenian
Spanish
Swahili
Swedish
Простий
пошук
Розширений
пошук
Абеткові
покажчики
Каталоги бібліотек установ Національної академії наук України
Бази даних
Інститут біохімії імені О. В. Палладіна - результати пошуку
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Інститут археології
Інститут біоорганічної хімії та нафтохімії
Інститут біохімії імені О. В. Палладіна
Інститут ботаніки
імені М. Г. Холодного
Інститут гідробіології
Інститут географії
Інститут економіки та прогнозування
Інститут електродинаміки
Інститут зоології
Інститут історії України
Інститут клітинної біології та генетичної інженерії
Інститут літератури імені Т. Г. Шевченка
Інститут математики
Інститут проблем кріобіології і кріомедицини
Інститут проблем міцності
імені Г. С. Писаренка
Інститут сходознавства імені А. Ю. Кримського
Інститут теоретичної фізики імені М. М. Боголюбова
Інститут технічної теплофізики
Інститут фізики
Інститут фізики напівпровідників
Інститут фізіології імені О. О. Богомольця
Інститут філософії
Інституту соціології
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер
"Mozilla Firefox"
Вид пошуку
Ключові слова (без закінчення)
Автор (тільки прізвище)
Назва
Рік видання
Формат представлення знайдених документів:
повний
стислий
Пошуковий запит:
(<.>K=ФОТОШАБЛОН$<.>)
Загальна кількість знайдених документів
:
1
1.
Готра, Зенон Юрьевич
.
Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : рис., табл. - Лит.: с. 526. -
ISBN
5-256-00699-1 : Б. ц.
Рубрики:
Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання
Кл.слова:
монокристаллические материалы
--
монокристалічні матеріали
--
кристаллы полупроводниковых материалов
--
кристали напівпровідникових матеріалів
--
полупроводниковые подложки
--
напівпровідникові підкладки
--
диффузия
--
дифузія
--
технология эпитаксальных слоев
--
технологія епітаксальних шарів
--
ионная имплантация
--
іонна імплантація
--
технология тонких пленок
--
технологія тонких плівок
--
фотошаблон
ы
--
фотошаблон
и
--
литографические процессы
--
літографічні процеси
--
сборка микроэлектронных устройств
--
складання мікроелектронних пристроїв
--
герметизация микроэлектронных устройств
--
герметизація мікроелектронних пристроїв
Анотація:
Механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств.
Інститут біохімії імені О. В. Палладіна
Всі права захищені ©
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського