^aВ379.22,021 Максимова, Тетяна Іванівна. Одеський держ. політехнічний ун-т. Модифікація структурних характеристик поверхні (001) кремнію в мікроелектронній технології [Текст] : автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук / Тетяна Іванівна Максимова; Одеський держ. політехнічний ун-т. - О. : [б. и.], 2000. - 20с.. - Б. ц.