|
|
РА310698
Максимова, Тетяна Іванівна.
Модифікація структурних характеристик поверхні (001) кремнію в мікроелектронній технології [Текст] : автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.01 / Максимова Тетяна Іванівна ; Одеський держ. політехнічний ун-т. - О., 2000. - 20 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Одеський державний політехнічний університет
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|