|
|
РА322275
Терентьев, Сергей Александрович.
Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук: 05.09.10 ; 05.27.01 / Терентьев Сергей Александрович. - Саратов, 2002. - 16 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|