|
РА290915сл Дворина, Людмила Андреевна. Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем [Текст] : автореф. дис... д-ра техн. наук: 01.04.07 ; 05.16.06 / Дворина Людмила Андреевна ; АН УССР, Ин-т проблем материаловедения им. И. Н. Францевича. - К., 1990. - 48 с. Для сл. пользования.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Академия наук Украинской ССР (Киев); Институт проблем материаловедения имени И. Н. Францевича (Киев)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|