|
|
ВА587764
Храбан, Анатолій Андрійович.
Основи технології напилення та фотолітографії в мікроелектроніці [Текст] : навч. посіб. для студ. радіотехн. спец. / А. А. Храбан [та ін] ; Вінницький держ. технічний ун-т. - Вінниця : [б.в.], 1998. - 87 с.
На обкл. авт. не зазнач.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Мізерний, Віктор Миколайович; Лукашевський, Володимир Іванович; Вінницький державний технічний університет
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|