|
|
ДС54542
 Мельник, Віктор Павлович.
Дослідження процесів йонно- променевого синтезу прихованих діелектричних та напівпроводникових шарів в кремнії [Текст] : дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.07 / Мельник Віктор Павлович ; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників. - К., 1997. - 157 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Національна академія наук України; Інститут фізики напівпровідників (Київ)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|