|
|
ВА682122
Киреев, Валерий Юрьевич.
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы [Текст] / В. Ю. Киреев, А. А. Столяров. - М. : Техносфера, 2006. - 190 с.: рис., табл. - (Мир электроники ; 7-17). - Библиогр.: с. 188-190. - ISBN 5-94836-039-3Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Столяров, Александр Александрович
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|