|
|
ВА702602
Кравченко, Юрій Степанович.
Хімічні процеси в мікроелектронній технології [Текст] : навч. посіб. для студ. напряму підгот. "Електроніка" / Ю. С. Кравченко, Є. О. Смольков ; Вінницький національний технічний ун-т. - Вінниця : ВНТУ, 2007. - 53 с. - Бібліогр.: с. 52Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Смольков, Євген Олександрович; Вінницький національний технічний університет
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|