|
ВА703715 Неорганічна фотолітографія [Текст] / В. В. Петров [и др.] ; НАН України, Ін-т пробл. реєстрації інформації, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова. - К. : ІМФ НАНУ, 2007. - 195 с.: рис., табл. - Бібліогр.: с. 170-195. - ISBN 966-00-0200-9Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Петров, Вячеслав Васильович; Крючин, Андрій Андрійович; Костюкевич, Сергій Олександрович; Рубіш, Василь Михайлович; Національна академія наук України; Інститут проблем реєстрації інформації (Київ); Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова (Київ)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|