|
|
ДС67564
Максимова, Татьяна Ивановна.
Модификация структурных характеристик поверхности (001) кремния в микроэлектронной технологии [Текст] : дис... канд. физ.-мат. наук: 01.04.01 / Максимова Татьяна Ивановна ; Одесский гос. политехнический ун-т. - О., 2000. - 149 л. - л. 126-141Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Одесский гос. политехнический университет
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|