|
|
Онищенко О. С. ВА449
Неорганічна фотолітографія [Текст] / В. В. Петров, А. А. Крючин, С. О. Костюкевич, В. М. Рубіш ; [відп. ред. О. Г. Додонов] ; НАН України, Ін-т пробл. реєстрації інформації, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова. - К. : [ІМФ НАНУ], 2007. - 195 с. : рис., табл. - Бібліогр.: с. 170-195. - 500 прим. - ISBN 966-00-0200-9
З дарчим написом О. С. Онищенку від авт.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Петров, Вячеслав Васильович; Крючин, Андрій Андрійович; Костюкевич, Сергій Олександрович; Рубіш, Василь Михайлович; Додонов, О. Г. (ред.); Національна академія наук України; Інститут проблем реєстрації інформації (Київ); Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова (Київ)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|