|
MFI3341/1-2 Bose, Abhijit. Diagnostics and control of plasma etching for semiconductor manufacturing [Text] : diss. / A. Bose ; Swiss Federal Institute of technology Zürich. - Zürich : [б.в.], 1995. - 136 p.: fig. - (Diss.ETH ; 11224) 2 mfisheРубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Swiss Federal Institute of technology Zürich
Видання зберігається у :
|
|