MFI3674/1-2
Nebiker, Peter Werner.
Strukturierung von Silizium mit niederenergetischen fokussierten Ionenstrahlen [Text] : Abh. / P. W. Nebiker ; Eidgenössische Technische Hochschule Zürich. - Zürich : [б.в.], 1997. - 114 S.:Fig. - (Diss ETH ; 12046)
2 mfishe

Рубрикатор НБУВ:
 з844.1-06 
Тематичні рубрики:
 Технологія виробництва мікроелектронних приладів 


Дод. точки доступу:
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich

Видання зберігається у :