|
|
ІВ198746
Ashruf, Colin Mohammed.
Galvanic etching of silicon for fabrication of micromechanical structures [Text] : diss. / C. M. Ashruf ; Technische Universiteit Delft. - Delft : [б.в.], 2000. - 158 p.: fig. - Бібліогр.: P.135-147. - ISBN 90-407-2001-0Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Technische Universiteit Delft
Видання зберігається у :
|
|