MFI4082/1-2
Rosenblad, Carsten.
Development of a plasma enhanced chemical vapour deposition system [Text] : diss. / C. Rosenblad ; Swiss Federal institute of technology Zürich. - Zürich : [б.в.], 2000. - 114 p.: fig. - (Diss ETH ; 13601)
2 mfishe

Рубрикатор НБУВ:
 З852-06 
Тематичні рубрики:
 Технологія виробництва напівпровідникових приладів 


Дод. точки доступу:
Swiss Federal institute of technology Zürich

Видання зберігається у :