MFI5801/1-3
Bieder, Andrea.
PECVD of SIOx films from oxygen and hexamethyldisil [Text] : diss. / A. Bieder ; Swiss Federal institute of technology Zürich. - Zürich : [б.в.], 2006. - 160 p. - (ETH-Diss ; 16418)
3 mfishe

Рубрикатор НБУВ:
 В333.65 
 З861 
Тематичні рубрики:
 Дослідницькі термоядерні реактори 
 Оптоелектроніка 


Дод. точки доступу:
Swiss Federal institute of technology Zürich

Видання зберігається у :