|
|
РА383356
Шпильовий, Павло Борисович.
Розробка та дослідження Nb-Al тонкоплівкової технології для сенсорних застосувань [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Шпильовий Павло Борисович ; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова. - К., 2011. - 20 с. : рис.Рубрикатор НБУВ: УДК: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Національна академія наук України; Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова (Київ)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|