|
Р118860 Методические указания для выполнения практической работы "Профили распределения имплантированных частиц и выделенной энергии в твёрдых телах" по курсам: "Методы и технологии модификации поверхности твёрдых тел" и "Физическое материаловедение для микро- и наноэлектроники" [Текст] : для студентов специальностей: 8.090102 "Физическое материаловедение" и 8.090801 "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" / Нац. техн. ун-т "Харьк. политехн. ин-т" ; [сост.: В. И. Пинегин, Е. Н. Зубарев]. - Х. : НТУ "ХПИ", 2011. - 15 с. : табл. - Бібліогр.: с. 15. - 50 прим.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Пинегин, Владимир Иванович (сост.); Зубарев, Евгений Николаевич (сост.); "Харьковский политехнический институт", национальный технический университет
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|