|
ДС124186 Головко, Юрій Викторович. Зв'язок розподілу домішок в монокристалах кремнію з технологічними параметрами вирощування [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.02.01 / Головко Юрій Викторович ; Запоріз. держ. інж. акад. - Запоріжжя, 2009. - 162 арк. : рис. - Бібліогр.: арк. 150-162.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Запорізька державна інженерна академія
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|