ДС124186
Головко, Юрій Викторович.
Зв'язок розподілу домішок в монокристалах кремнію з технологічними параметрами вирощування [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.02.01 / Головко Юрій Викторович ; Запоріз. держ. інж. акад. - Запоріжжя, 2009. - 162 арк. : рис. - Бібліогр.: арк. 150-162.

Рубрикатор НБУВ:
Тематичні рубрики:


Дод. точки доступу:
Запорізька державна інженерна академія

Видання зберігається у :
Основний фонд