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ІВ215626
Meyer, Frank Christian.
Simulation und experimentelle Verifikation von strukturgrößen- und flächenbelegungsabhängigen Effekten beim chemisch mechanischen Polieren in der Halbleitertechnologie [Text] : Diss. / Frank Christian Meyer ; Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik der Techn. Univ. Dresden. - Dresden : [s. n.], 2004. - 152 S. : Abb. - Бібліогр.: с. 127-131Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Technische Universität (Dresden). Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik
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Основний фонд
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