|
РА403508 Семенов, Олександр Володимирович. Фізико-технологічні основи синтезу та модифікації плівок нанокристалічного карбіду кремнію [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.02.01 / Семенов Олександр Володимирович ; Нац. акад. наук України, Ін-т монокристалів. - Х., 2013. - 35 с. : рис., табл.Рубрикатор НБУВ: УДК: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Національна академія наук України; Інститут монокристалів (Харків)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|