РА403508
   Семенов, Олександр Володимирович.
Фізико-технологічні основи синтезу та модифікації плівок нанокристалічного карбіду кремнію [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.02.01 / Семенов Олександр Володимирович ; Нац. акад. наук України, Ін-т монокристалів. - Х., 2013. - 35 с. : рис., табл.

Рубрикатор НБУВ:
УДК:
Тематичні рубрики:


Дод. точки доступу:
Національна академія наук України; Інститут монокристалів (Харків)

Видання зберігається у :
Основний фонд