|
|
РА280742
Коваль, Юрий Иванович.
Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования [Текст] : автореф.дис...канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Коваль Юрий Иванович ; РАН, Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов. - Черноголовка, 1993. - 19 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов; РАН; Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|