|
|
ДС55040
Будянский, Александр Михайлович.
Оптимизация систем ионно-лучевого и плазмо-химического травления на базе высококчастотного разряда [Текст] : дис... канд. техн. наук: 05.11.21 / Будянский Александр Михайлович ; НАН Украины, Харьк. гос. ун-т. - Х., 1997. - 194 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Национальная академия наук Украины; Харьковский государственный университет
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|