|
|
РА280772сл
Кононов, Владислав Юрьевич.
Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС [Текст] : автореф.дис...канд.техн.наук:05.13.07 / Кононов Владислав Юрьевич ; МИЭТ (Технический ун-т). - М., 1993. - 27 с. - Для сл.пользованияРубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
МИЭТ (Технический университет)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|