|
|
РА294608сл
Рассамакин, Владимир Яковлевич.
Плазмохимическое осаждение пленок нитрида кремния для полупроводниковых СБИС [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук: 05.27.06 / Рассамакин Владимир Яковлевич ; АН УССР, Ин-т полупроводников. - К., 1990. - 16 с.
Для сл. пользованияРубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Академия наук Украинской ССР (Киев); Институт полупроводников (Киев)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|