|
РА293923 Бойко, Тарас Георгійович. Низькотемпературна дифузія фосфору в кремній з твердих планарних джерел [Текст] : автореф. дис... канд. тех. наук: 05.27.03 / Бойко Тарас Георгійович ; Державний ун-т "Львівська політехніка". - Львів, 1996. - 21 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Державний університет "Львівська політехніка"
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|