РА338548
Шевкун, Игорь Михайлович.
Автоматизация трехмерного моделирования элементов микроэлектронных структур [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук: 06.13.16 / Шевкун Игорь Михайлович ; Белорусский гос. ун-т. - Минск, 1993. - 19 с.

Рубрикатор НБУВ:
 З844.15-01 
Тематичні рубрики:
 Теорія. Дослідження інтегральних схем 


Дод. точки доступу:
Белорусский гос. университет

Видання зберігається у :
Основний фонд