|
|
РА341523
Кириллов, Андрей Николаевич.
Оптимизация процессов электронной литографии при формировании сложных структур с субмикронным разрешением [Текст] : автореф. дис... канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Кириллов Андрей Николаевич ; АН СССР, Физико-технологический ин-т. - М., 1990. - 18 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Физико-технологический институт; АН СССР; Физико-технологический институт
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|