|
|
РА334469
Кляхіна, Наталія Панасівна.
Формування структури і фізичних властивостей нітридних плівок, отриманих методами реактивного розпилювання на підкладках Si, Ni, Ti, Ta, Mo і W [Текст] : автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.07 / Кляхіна Наталія Панасівна ; Нац. акад. наук України, Донец. фіз.-техн. ін-т ім. О. О. Галкіна. - Донецьк, 2004. - 23 с.: рис., табл.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Національна академія наук України; Донецький фізико-технічний інститут імені О. О. Галкіна
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|