ДС147712
Шпилевой, Павел Борисович.
Разработка и исследование Nb-Al тонкопленочной технологии для сенсорных применений [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Шпилевой Павел Борисович ; НАН Украины, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова. - Киев, 2011. - 164 л. : рис., табл. - Бібліогр.: арк. 145-159.

Рубрикатор НБУВ:
 В372.6 в641,022 
 В368.31,022 
 З844.1-06 
УДК:
 621.3.049.77:658.51 
 538.945 
 538.975 
Тематичні рубрики:
 Дисертації. Математичні методи < Тонкі шари твердих тіл > 
 Дисертації < Надпровідність. Надпровідники > 
 Технологія виробництва мікроелектронних приладів 


Дод. точки доступу:
Национальная академия наук Украины; Институт кибернетики имени В. М. Глушкова (Киев)

Видання зберігається у :
Основний фонд