ДС149542
Семенов, Александр Владимирович.
Физико-технологические основы синтеза и модификации пленок нанокристаллического карбида кремния [Текст] : дис. ... д-ра техн. наук : 05.02.01 / Семенов Александр Владимирович ; НАН Украины, Ин-т монокристаллов. - Харьков, 2013. - 370 л. : рис., табл. - Бібліогр.: арк. 327-359.

Рубрикатор НБУВ:
 В379.226,022 
 В379.251.4,022 
 З843.312 
 З843.395 
УДК:
 539.216:[546.261'28-022.532] 
 621.315.59 
Тематичні рубрики:
 Дисертації < Тонкі шари напівпровідників > 
 Дисертації < Кристалізація > 
 Кремній та його сполуки 
 Тонкі плівки 


Дод. точки доступу:
Национальная академия наук Украины; "Институт монокристаллов", научно-технический комплекс (Киев)

Видання зберігається у :
Основний фонд