Ж36641:SD/2001/665 | Uppsala University. Acta Universitatis Upsaliensis, Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the Faculty of science and technology [Text] / Uppsala University. - Uppsala. - ISSN 1104-232X. 2001, №665 : CVD and ALD of group IV- and V-oxides for dielectric applications / K. Forsgren. - Uppsala : [б.в.], 2001. - 55 p.: ill. - Bibliogr.: p.49-55. - ISBN 91-554-5143-8Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Uppsala University
| 2001 | | № 665
|