Ж36641:SD/2001/665
Uppsala University.
Acta Universitatis Upsaliensis, Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the Faculty of science and technology [Text] / Uppsala University. - Uppsala. - ISSN 1104-232X.
2001, №665 : CVD and ALD of group IV- and V-oxides for dielectric applications / K. Forsgren. - Uppsala : [б.в.], 2001. - 55 p.: ill. - Bibliogr.: p.49-55. - ISBN 91-554-5143-8

Рубрикатор НБУВ:
 В379.32,022 
Тематичні рубрики:
 Дисертації < Структура діелектриків > 


Дод. точки доступу:
Uppsala University

2001
№ 665

Видання зберігається у :
Основний фонд