|
Таланін, В. І. Термодинамічні аспекти моделі утворення мікродефектів у напівпровідниковому кремнії [Text] !Otitkn.pft: FILE NOT FOUND! !oizd.pft: FILE NOT FOUND! !ospec.pft: FILE NOT FOUND! !oistaspk_H.pft: FILE NOT FOUND! Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Шифр журнала:
Анотація: Наведено термодинамічний розрахунок основних характеристичних параметрів, які описують процеси рекомбінації власних точкових дефектів у напівпровідниковому кремнії в області температур поблизу точки плавлення. Показано, що швидкість рекомбінації точкових дефектів є малою завдяки наявності ентропійного бар'єра. Підтверджено, що розпад пересиченого твердого розчину власних точкових дефектів відбувається за двома механізмами: вакансійному та міжвузловинному. !oprip481_H.pft: FILE NOT FOUND! Дод. точки доступу: Таланін, І. Є.
Видання зберігається у :
|
|