|
|
Глауберман, М. А.
Вплив структурних дефектів у приповерхневих шарах кремнію на перетворювальні властивості інжекційно-інверсійної магніточутливої структури [Text] !Otitkn.pft: FILE NOT FOUND! !oizd.pft: FILE NOT FOUND! !ospec.pft: FILE NOT FOUND! !oistaspk_H.pft: FILE NOT FOUND! Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Шифр журнала:
Кл.слова (ненормированные):
дефекти -- кремній -- кисень -- магніточутлива структура -- рухливість
Анотація: За допомогою сучасних методів дослідження визначено вплив структурних недосконалостей, домішкового складу та неоднорідностей легування на основні параметри, відповідальні за чутливість інжекційно-інверсійної магніточутливої структури. Досліджено пластини вихідного монокристалічного кремнію, а також структури оксид-кремній. Установлено, що у більшості випадків основними домішками в вихідному кремнії, а також у пластинах кремнію, після зняття оксиду, є кисень і вуглець. Кисень у цьому разі проявляє електричну активність і, таким чином, впливає на параметри структурних дефектів, які, в свою чергу, впливають на рухливість і магніточутливі властивості досліджуваної структури. !oprip481_H.pft: FILE NOT FOUND!
Дод. точки доступу:
Кулініч, О. А.; Єгоров, В. В.; Каніщева, Н. А.; Козел, В. В.
Видання зберігається у :
|
|