|
|
Клецкий, С. В.
Взаимодиффузия компонентов при эпитаксиальном выращивании многокомпонентных тонких пленок [Text] !Otitkn.pft: FILE NOT FOUND! !oizd.pft: FILE NOT FOUND! !ospec.pft: FILE NOT FOUND! !oistaspk_H.pft: FILE NOT FOUND! Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Шифр журнала:
Кл.слова (ненормированные):
взаимодиффузия -- растущая пленка -- подложка -- эпитаксия -- II - VI полупроводниковые твердые растворы
Анотація: Розглянуто задачу взаємодифузії в системі товста підкладка - зростаюча тонка плівка за залежних від часу граничних умов, які є типовими для основних методів епітаксійного вирощування та напилення тонких плівок. Запропонована модель дає можливість розрахувати концентрацію компонентів, що дифундують зі зростаючої плівки в підкладку та в протилежному напрямку. Досліджено деякі окремі випадки задачі взаємодифузії: зростання трикутної ями CdMnTe на підкладці CdTe, теплова деградація зростаючих надграток тощо. !oprip481_H.pft: FILE NOT FOUND!
Видання зберігається у :
|
|