 Даниленко, О. О. Рубрикатор НБУВ: Шифр журнала: Кл.слова (ненормированные): плазмохімічне травлення -- емісійно-спектральний контроль -- фотоприймачі -- транзисторні структури з від'ємним опором Анотація: Проаналізовано стан справ щодо розробки та практичного використання приладів емісійно-спектрального контролю травлення напівпровідникових структур в низькотемпературній плазмі. Показано, що застосування як первинних перетворювачів мікроелектронних частотних сенсорів дозволяє підвищити чутливість фотоелектронного перетворення і значно спростити схемотехнічну реалізацію автоматизованих систем контролю і управління цільовим технологічним процесом. !oprip481_H.pft: FILE NOT FOUND! Дод. точки доступу: Кравченко, Ю. С.; Осадчук, В. С. Видання зберігається у : |