|
|
Швец, У. С.
Решение обратной задачи эллипсометрии оптимизационными методами [Text] !Otitkn.pft: FILE NOT FOUND! !oizd.pft: FILE NOT FOUND! !ospec.pft: FILE NOT FOUND! !oistaspk_H.pft: FILE NOT FOUND! Рубрикатор НБУВ:
Шифр журнала:
Кл.слова (ненормированные):
эллипсометрия -- обратная задача эллипсометрии -- целевая функция
Анотація: Проанализированы существующие методы решения обратной задачи эллипсометрии. Рассмотрены проблемы, возникающие при решении данного рода задач. Указаны области применения каждого из них, а также их преимущества и недостатки. Выполнены численные моделирования тестовых задач, основанные на минимизации функционалов. !oprip481_H.pft: FILE NOT FOUND!
Видання зберігається у :
|
|