|
РА334469![](/cgi-bin/irbis_nbuv/cgiirbis_64.exe?C21COM=2&I21DBN=REF_PRINT&P21DBN=REF&Z21ID=&Image_file_name=IMG/04knprrp.zip) Кляхіна, Н. П. НАН України. Донец. фіз.-техн. ін-т ім. О.О.Галкіна. Формування структури і фізичних властивостей нітридних плівок, отриманих методами реактивного розпилювання на підкладках Si, Ni, Ti, Ta, Mo і W [Text] !Otitkn.pft: FILE NOT FOUND! !oizd.pft: FILE NOT FOUND! !ospec.pft: FILE NOT FOUND! !ovixd.pft: FILE NOT FOUND! !ofizxar_H.pft: FILE NOT FOUND! !Oprim_H.pft: FILE NOT FOUND! !Oisbncnk_H.pft: FILE NOT FOUND! !oant_H.pft: FILE NOT FOUND! !opri451_H.pft: FILE NOT FOUND! !Opris488_H.pft: FILE NOT FOUND! Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Анотація: Досліджено механізм процесу росту нітридних плівок на кристалічних підкладках, одержаних за методом іонної імплантації (ІІ), які задовільно узгоджуються з експериментальними даними стосовно кінетики росту плівок. На підставі порівняльного аналізу результатів показано відмінність у структурі, фазовому складі, кінетиці росту та властивостях нітридних плівок на підкладках Si, Ni, Mo, W, Ti і Ta за використання методів напилювання ІІ, конденсації з іонним бомбардуванням (КІБ) і ВЧМР. Шляхом підбору режимів напилювання ІІ та КІБ одержано двошарові плівки, які містять нітрид матеріалу підкладки та нітрид і оксид титану ($Eroman {Si sub 3 N sub 4 "/"TiO sub 2 } і $Eroman {W sub 2 N"/"TiN}, які мають високу твердість і корозійну стійкість. Визначено структурно-фазовий стан, кінетику росту та властивості нітридних плівок у системах W - N, Mo - N і Ni - N. Установлено істотне підвищення (у 2 - 10 разів) адгезії нітридних плівок, одержаних з використанням методів ІІ та КІБ у порівнянні з плівками, отриманими за ВЧМР. Здійснено оцінку гетероепітаксійної температури у системах Si - AlN, Si - TiN. !oprip481_H.pft: FILE NOT FOUND! Файл: 04knprrp.zip - 0Перейти: /ard/2004/ Видання зберігається у :
|
|