|
|
Борисов, А. В.
Микроэлектронные сенсоры для контроля температуры интегральных микросхем [Text] !Otitkn.pft: FILE NOT FOUND! !oizd.pft: FILE NOT FOUND! !ospec.pft: FILE NOT FOUND! !oistaspk_H.pft: FILE NOT FOUND! Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Шифр журнала:
Анотація: Рассмотрены проблемы определения температуры подложки интегральной микросхемы (ИМС). Обосновано, что для измерения температуры подложки ИМС целесообразно использовать термочувствительные свойства структур, входящих в состав её элементной базы. В этом случае нет необходимости применять термосенсоры специальных конструкций для измерения температуры микрообъектов, к которым относится ИМС. Рассмотрены особенности микроэлектронных термосенсоров на основе резистивных, диодных и транзисторных структур. !oprip481_H.pft: FILE NOT FOUND!
Дод. точки доступу:
Гусев, В. А.; Павлов, Л. Н.; Яганов, П. А.
Видання зберігається у :
|
|