 Иванов, В. Н. Рубрикатор НБУВ: Шифр журнала: Анотація: Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe - Ta - Au, AuGe - TaNх - Au, AuGe - TiBх - Au, AuGe - TiBх - Mo - Au и Ti - Au, TiNх - Au, TiBх - Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3-5 мкм и концентрацией носителей (5-6) [$Esymbol Р ] 10. 15Dcм. -3D. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBrх мало изменяют параметры после термообработки при 550 $Esymbol РC в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550 $Esymbol РC резко изменяют свои характеристики. !oprip481_H.pft: FILE NOT FOUND! Дод. точки доступу: Конакова, Р. В.; Миленин, В. В.; Стовповой, М. А. Видання зберігається у : |