|
|
Вашкевич, С.
Вплив термообробки та електронного опромінення на елементний склад плівок MgO [Text] !Otitkn.pft: FILE NOT FOUND! !oizd.pft: FILE NOT FOUND! !ospec.pft: FILE NOT FOUND! !oistaspk_H.pft: FILE NOT FOUND! Рубрикатор НБУВ:
Шифр журнала:
Кл.слова (ненормированные):
оже-електроскопія -- стехіометрія -- електронне опромінення -- елементний склад -- термообробка
Анотація: Дослідження плівок MgO проведено за методом оже-електронної спектроскопії. Досліджено плівки MgO, одержані за методом високочастотного розпилення за різних умов (в середовищі аргону та в середовищі аргону з киснем). Розрахунки кількісного елементного складу плівок проведено на базі програми, розробленою на мові програмування Delphi 5.0. Достовірність розрахунків перевірено за допомогою стандартних зразків високої чистоти. Виявлено, що в плівках, одержаних в середовищі аргону, спостерігається порушення стехіометрії складу у бік надлишку магнію, а в плівках, одержаних у середовищі аргону з киснем, порушення стехіометрії незначні.
Research of films MgO was conducted by the method of Ouge-electronic spectroscopy. In work the films MgO were explored got the method of high-frequency dispersion under various conditions (in the environment of argon and in the environment of argon with oxygen). Computations of quantitative element composition of films were conducted on the basis of the program, developed in a programming language Delphi 5.0. Authenticity of computations was checked up by means standard samples of high cleanness. Theuse of the program considerably simplified work. It is exposed, that in films of got in the environment of argon there is violation of stoichiometric composition in the side of surplus of magnesium, and films were got in the environment of argon with oxygen of violation of stoichiometric insignificant !oprip481_H.pft: FILE NOT FOUND!
Дод. точки доступу:
Беркещук, М. ; Поплавський, О.
Видання зберігається у :
|
|