ОТРИМАННЯ СЛАБКОЛЕГОВАНИХ КРЕМНІЄМ ТОВСТИХ ШАРІВ I-GAAS МЕТОДОМ РІДИННО-ФАЗНОЇ ЕПІТАКСІЇ Шифр журнала: Ж29409:А:Електрон./2013/764 Файл:  VNULPE_2013_764_19.pdf - 0 Дод. точки доступу: Круковський, С. І.; Тимчишин, В. Р.